1. Pureza
La pureza del objetivo de titanio tiene una gran influencia en las propiedades de las películas pulverizadas. Cuanto mayor sea la pureza del objetivo, menos partículas de elementos de impureza habrá en la película pulverizada y mejor será el rendimiento de la película (como la resistencia a la corrosión y las propiedades ópticas y eléctricas). En aplicaciones prácticas, los requisitos de pureza de los objetivos de titanio para diferentes propósitos son diferentes. . Por ejemplo, los requisitos de pureza de los objetivos para revestimientos decorativos generales no son exigentes, mientras que los objetivos para circuitos integrados, cuerpos de pantalla y otros campos tienen requisitos de pureza mucho más altos, generalmente alrededor del 99,999 por ciento o más.
2. Tamaño medio de grano
Por lo general, el objetivo de titanio tiene una estructura policristalina y el tamaño de grano puede variar desde micras hasta milímetros. La velocidad de pulverización del objetivo de grano fino es más rápida que la del objetivo de grano grueso. La distribución del espesor de la película depositada por pulverización también es relativamente uniforme. Generalmente se requiere que el tamaño de grano promedio de los objetivos de titanio para circuitos integrados esté dentro de los 30 μm, y el tamaño de grano promedio de los objetivos de titanio de grano ultrafino sea inferior a 10 μm.
3. Orientación del cristal
El titanio tiene una estructura hexagonal muy compacta. Durante la pulverización catódica, los átomos objetivo de titanio se pulverizan fácilmente a lo largo de la dirección de la disposición hexagonal de los átomos. Por lo tanto, para lograr la tasa de pulverización catódica más alta, es posible aumentar la tasa de pulverización catódica cambiando la estructura cristalina del objetivo. tasa de chisporroteo. La dirección de cristalización del objetivo de titanio también tiene una gran influencia en la uniformidad del espesor de la capa de película pulverizada, y el tamaño de la película de la pantalla plana y el revestimiento decorativo es relativamente grueso, por lo que los requisitos para la orientación del grano del objetivo de titanio correspondiente son relativamente bajo.
4. Geometría y tamaño
Se refleja principalmente en la precisión y la calidad del procesamiento, como el tamaño del procesamiento, la planitud de la superficie, la rugosidad, etc. Un espesor pequeño afectará la vida útil del objetivo; una superficie de sellado y una ranura de sellado demasiado rugosas causarán problemas de vacío después de instalar el objetivo; Hacer áspera la superficie de pulverización del objetivo puede hacer que la superficie del objetivo esté llena de puntas sobresalientes; bajo la acción del efecto de punta, el potencial de estas puntas elevadas aumentará considerablemente, rompiendo así la descarga dieléctrica. Sin embargo, una protuberancia excesivamente grande es perjudicial para la calidad y estabilidad del chisporroteo.
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